微流控芯片制造技術(shù)介紹（三）

    3、橡塑制品法

    用光刻和刻蝕的辦法先制成陽模（需要安全通道一部分凸起）；澆筑液體的纖維材料，再將固化的纖維材料與陽模脫離，獲得具備微通道芯片這類制取微芯片的辦法稱之為橡塑制品法。橡塑制品法的關(guān)鍵是磨具和高分子材料材料選擇，理想化的原材料應(yīng)彼此之間粘合力小，便于出模。

    微通道的陽膜可以由光伏材料、夾層玻璃、環(huán)氧基SU-8負(fù)光膠和PDMS等生產(chǎn)制造。硅或夾層玻璃陽膜可采取規(guī)范刻蝕技術(shù)性。PDMS磨具可以通過立即澆筑于由光伏材料、夾層玻璃等相關(guān)材料制成的母模上制得。

    澆筑使用的纖維材料應(yīng)具備高粘度，低干固溫度。在的作用下，可充斥著模板里的微通道和凹形槽等地方?？梢杂玫脑牧嫌袃煞N：干固型高聚物和有機(jī)溶劑蒸發(fā)型高聚物。

    盡管橡塑制品法受制于纖維材料，但該法簡單易行，處理芯片挺大快速復(fù)制，并且不必須昂貴機(jī)器設(shè)備，是一個可以做便宜剖析芯片方式。

    4、注塑加工法

    注塑方法的加工工藝是由光刻和刻蝕技術(shù)的應(yīng)用單晶硅片上刻蝕出電泳原理處理芯片陽模，用其陽模開展24h左右電鍍工藝，獲得0、5cm粗厚鎳基合金模，然后將鎳基合金模加厚型，用心生產(chǎn)加工做成金屬材料塑料模具，將這一磨具安裝于塑料機(jī)上大批量生產(chǎn)高聚物生物芯片基片。

    在注塑加工法制作中，模具生產(chǎn)繁雜，技術(shù)性要求嚴(yán)格，時間長，是所有加工工藝過程的關(guān)鍵因素。一個好的磨具可制成30~50萬多張高聚物處理芯片，可重復(fù)性好，生產(chǎn)制造周期時間短，價格低廉，適合于已成形的芯片加工。